NF EN 62047-2

NF EN 62047-2

November 2006
Standard Current

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2 : tensile testing methods of thin film materials

Le présent document spécifie la méthode pour les essais de traction des matériaux en couche mince d'une longueur et d'une largeur inférieure à 1 mm et d'une épaisseur inférieure à 10 micro m, qui sont des matériaux structurels principaux pour les systèmes microélectromécaniques (MEMS), micromachines et dispositifs analogues.

See more
View the extract
Main informations

Collections

National standards and national normative documents

Publication date

November 2006

Number of pages

29 p.

Reference

NF EN 62047-2

ICS Codes

29.045   Semiconducting materials
31.080.01   Semiconductor devices in general

Classification index

C96-050-2

Print number

1

International kinship

IEC 62047-2:2006

European kinship

EN 62047-2:2006
Sumary
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2 : tensile testing methods of thin film materials

Le présent document spécifie la méthode pour les essais de traction des matériaux en couche mince d'une longueur et d'une largeur inférieure à 1 mm et d'une épaisseur inférieure à 10 micro m, qui sont des matériaux structurels principaux pour les systèmes microélectromécaniques (MEMS), micromachines et dispositifs analogues.
Table of contents
View the extract
  • AVANT-PROPOS
    2
  • 1 Domaine d'application
    4
  • 2 Références normatives
    4
  • 3 Symboles et désignations
    4
  • 4 Méthode d'essai et appareillage d'essai
    5
  • 4.1 Méthode de fixation
    5
  • 4.2 Méthode de charge
    5
  • 4.3 Vitesse d'essai
    5
  • 4.4 Mesure de la force
    5
  • 4.5 Mesure de l'allongement
    5
  • 4.6 Courbe contrainte-déformation
    6
  • 4.7 Contrôle de l'environnement
    6
  • 5 Éprouvette d'essai
    6
  • 5.1 Généralités
    6
  • 5.2 Forme plane de l'éprouvette d'essai
    6
  • 5.3 Epaisseur de l'éprouvette d'essai
    7
  • 5.4 Marque repère
    7
  • 6 Rapport d'essai
    7
  • Annexe A (informative)
    Méthode de serrage de l'éprouvette d'essai 8
  • Annexe B (normative) Conditions d'essai
    10
  • Annexe C (informative) Éprouvette d'essai
    11
  • Annexe ZA (normative) Références normatives à d'autres publications internationales
  • avec les publications européennes correspondantes
    13
Need to identify, monitor and decipher standards?

COBAZ is the simple and effective solution to meet the normative needs related to your activity, in France and abroad.

Available by subscription, CObaz is THE modular solution to compose according to your needs today and tomorrow. Quickly discover CObaz!

Request your free, no-obligation live demo

I discover COBAZ